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电子束光刻
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电子束光刻
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(美)布鲁尔(brewer,g.r.)著
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brewer
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《半导体器件制造技术丛书》编写组编
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上海无线电十七厂
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上海无线电十七厂编
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中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著
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中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组
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刘俊标
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刘俊标, 薛虹, 顾文琪著
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半导体光刻制版技术交流会资料汇编组编
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半导体器件制造技术丛书编写组
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姚汉民,胡松,邢廷文著
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李艳秋
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封面仅供参考
先进计算光刻
订购中
著者:
李艳秋
出版社:
科学出版社
出版日期: 2024
文献类型:
图书 , 索书号:
TN405.98/452/2024
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计算光刻与版图优化
已借7次.
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著者:
韦亚一
出版社:
电子工业出版社
出版日期: 2021
文献类型:
图书 , 索书号:
TN405.98/511/2021
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3.
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光学投影曝光微纳加工技术
订购中
著者:
姚汉民
胡松
邢廷文
出版社:
北京工业大学出版社
出版日期: 2006
文献类型:
图书 , 索书号:
TH761.8/437/2006
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微纳加工中的精密工件台技术
订购中
著者:
刘俊标
薛虹
顾文琪
出版社:
北京工业大学出版社
出版日期: 2004
文献类型:
图书 , 索书号:
TN470.598/024/2004
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5.
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电子束刻蚀技术
订购中
著者:
G.R. 布鲁尔
G.R. Brewer
出版社:
国防工业出版社
出版日期: 1986
文献类型:
图书 , 索书号:
TN305.7/422
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6.
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电子束扫描曝光技术
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著者:
吴克华
出版社:
宇航出版社
出版日期: 1985
文献类型:
图书 , 索书号:
TN405.7/642
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7.
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光致抗蚀剂:光刻胶
订购中
著者:
中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组
出版社:
科学出版社
出版日期: 1977
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图书 , 索书号:
TN305.7/529
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8.
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光刻掩膜版的制造
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著者:
武汉无线电元件三厂
出版社:
武汉无线电元件三厂
出版日期: 1972
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9.
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半导体光刻制版技术交流会资料汇编
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著者:
半导体光刻制版技术交流会资料汇编组编
出版社:
编者
出版日期: 1972
文献类型:
图书 , 索书号:
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10.
封面仅供参考
光刻技术
订购中
著者:
半导体器件制造技术丛书编写组
出版社:
国防工业出版社
出版日期: 1972
文献类型:
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