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微电子工艺与装备技术 |
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题名/责任者:
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微电子工艺与装备技术 [ 专著] / 夏洋，解婧，陈宝钦编著 |
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ISBN:
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978-7-03-075192-8 价格： CNY88.00 |
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语种:
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汉语 |
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载体形态:
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10,227页 : 图，照片 ; 26cm |
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出版发行:
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北京 : 科学出版社, 2023 |
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内容提要:
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本书共十章，内容包括：基础知识、物理气相沉积工艺实验、化学气相沉积工艺实验、光刻工艺实验、微纳米刻技术及实验、刻蚀工艺实验、工艺集成及微机电系统、示例课程简介等。 |
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主题词:
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微电子技术 生产工艺 研究生 教材 |
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中图分类法
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TN405 版次： 5 |
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主要责任者:
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夏洋 编著 |
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主要责任者:
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解婧 编著 |
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主要责任者:
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陈宝钦 编著 |
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附注:
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中国科学院大学研究生教材系列 |
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标签:
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相关主题:
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相关资源:
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限定所在馆:
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