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耐高温陶瓷基无线无源传感器关键技术研究

题名/责任者:
耐高温陶瓷基无线无源传感器关键技术研究 [ 专著] / 李晨著
ISBN:
978-7-5221-3727-8 价格: CNY92.00
语种:
汉语
载体形态:
172页 : 图,照片 ; 25cm
出版发行:
北京 : 中国原子能出版社, 2024
内容提要:
本书围绕无源耐高温压敏元件的关键技术,在无线互感耦合传输理论研究的基础上,以Dupont 951陶瓷、氧化铝陶瓷等典型耐高温材料为出发点展开了详细的研究。通过LTCC微组装工艺技术,实现了LTCC敏感元件结构的完整性,最终实现了可以稳定地工作于400℃高温环境下的LTCC耐高温敏感元件的制造;通过结合LTCC微组装工艺技术与厚膜集成工艺技术,实现了氧化铝陶瓷压敏元件结构的完整性,实现了可以稳定地工作于800℃高温环境下的氧化铝陶瓷耐高温敏感元件的制造,为超高温环境下压力、温度参数的原位测试技术发展奠定了基础。
主题词:
传感器 高等教育 教材
中图分类法 :
TP212 版次: 5
主要责任者:
李晨
责任者附注:
李晨,中北大学半导体与物理学院教授,博士生导师,动态测试技术国家重点实验室成员累计申请专利60余项,国际(美国)专利1项,授权50余项(其中3项专利已在企业转化应用,取得良好经济效益)。
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